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基于柔性铰链结构的压电纳米定位台

       在计量学、超高分辨率显微镜、干涉测量等应用系统中,对定位精度有着越来越高的要求,这就需要高性能的纳米级压电定位台作为技术支持。为了实现纳米级的精密定位,需要高精度的驱动方式和传动方式,使定位台达到纳米级的位移分辨率。芯明天压电纳米定位台利用压电陶瓷作为驱动元件,柔性铰链机构作为传动装置构成高精度定位系统可实现纳米级精密定位。

       通常柔性铰链摩擦的影响可以忽略不计,但是在纳米定位要求中却是相当重要而不可忽略。芯明天纳米定位台采用的是柔性铰链机构的弹性形变。下图是芯明天柔性铰链在压电机构中的应用,实现高分辨率以及大位移行程。

       柔性铰链机构结构紧凑且无摩擦,适合与压电陶瓷组成分辨率高、频响高的超高精度纳米定位台。同时柔性铰链机构还可以提供适当的预紧,避免压电陶瓷承受拉力,提高压电纳米定位台的使用寿命。

       同时,压电纳米定位台的行程也可通过机构放大式柔性铰链放大。压电陶瓷被集成在柔性接头内,行程可扩展至毫米级。

芯明天压电纳米定位台

       芯明天压电纳米定位台以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴的精密运动,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性。中心通孔版本,非常适用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像等系统。

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